𝐯𝐢𝐞𝐭𝐂𝐀𝐋𝐈𝐁® – Quy trình thử nghiệm phòng sạch

1. Phạm vi áp dụng:

• Áp dụng cho việc kiểm tra đánh giá các thông số phòng sạch cho các phòng sạch được phân cấp phòng sạch theo ISO 14644 hoặc theo các tiêu chuẩn khác.
• Áp dụng cho việc kiểm tra các phụ kiện kèm theo trong phòng sạch: pass box

2. Điều kiện môi trường tại khu vực thử nghiệm:

• Nhiệt độ: (20 ± 10) ºC.
• Độ ẩm: (60 ± 20) %RH.

3. Lựa chọn phương tiện dùng để thử nghiệm:

• Máy đo vận tốc gió: Phạm vi: (0,25 ÷ 12,5) m/s. Độ chính xác: ± 5% khi đọc 0,50 m/s trở lên. Độ chính xác: ± 10% khi đọc 0,50 m/s trở xuống
• Máy quang kế aerosol (quét rò rỉ): 
• Máy đếm hạt
• Máy đo chênh áp
• Máy đo cường độ ánh sáng
• Máy đo độ ồn
• Khí ”0“: Khí Nitơ theo TCVN 3286:1979 hoặc không khí sạch chứa thành phần SO₂, CO₂, CO, H₂S, NO, NO₂, O₂, HCl, NH₃, HF, Cl₂, LEL có nồng độ nhỏ hơn giới hạn mà phương tiện đo có thể phát hiện được, độ chính xác ≤ 2%.
• Các loại khí chuẩn khác: Có độ không đảm bảo đo hoặc độ chính xác ≤ 2 %.

• Đồng hồ bấm giây
• Đồng hồ đo nhiệt độ / độ ẩm
• Máy tạo aerosol
• Thước đo
• Giá đỡ, kẹp để cố định các máy …

4. Chuẩn bị trước khi thử nghiệm:

Trước khi tiến hành hiệu chuẩn phải thực hiện các công việc chuẩn bị sau:

• Phải tuân thủ các yêu cầu, quy định về việc ra vào phòng sạch.
• Các thiết bị chuẩn, phụ kiện mang theo phải được xử lý theo yêu cầu của phòng sạch trước khi sử dụng.
• Hệ thống phòng sạch cần thiết vận hành theo đúng chế độ sử dụng.

5. Tiến hành thử nghiệm:

Kiểm tra bên ngoài:

• Kiểm tra cảm quan về độ sạch của phòng, khả năng xâm nhập của không khí ngoài phòng sạch.
• Kiểm tra sơ bộ về màng lọc không khí, hệ thống chênh áp.

Kiểm tra kỹ thuật:

• Kiểm tra tình trạng hoạt động hệ thống đèn, máy lạnh, …

Kiểm tra đo lường:

• Phép thử dòng không khí
• Phép thử độ rò rỉ màng lọc HEPA/ ULPA:
• Phép thử hướng dòng khí và sự nhìn thấy được:
• Phép thử độ chênh áp:
• Phép thử đếm hạt phân cấp phòng sạch:
• Phép thử thu hồi:
• Phép thử cường độ ánh sáng:
• Phép thử nhiệt độ và độ ẩm:
• Phép thử độ ồn:
• …v.v…

6. Tài liệu tham khảo:

• [2] 255-2009-HD-PST_CR – Procedural standards for certified testing of cleanrooms
• 256-2011-TCVN-8664-1 – Phòng sạch và môi trường kiểm soát liên quan – Phần 1 Phân loại độ sạch không khí.
• 257-2011-TCVN-8664-2 – Phòng sạch và môi trường kiểm soát liên quan – Phần 2 YC kỹ thuật để thử nghiệm và theo dõi nhằm chứng minh sự phù hợp liên tục với TCVN 8664-1.
• 258-2011-TCVN-8664-3 – Phòng sạch và môi trường kiểm soát liên quan – Phần 3 Phương pháp thử

QUÝ KHÁCH CÓ NHU CẦU  HIỆU CHUẨN – BẢO TRÌ THIẾT BỊ THÍ NGHIỆM, MÔI TRƯỜNG, CÔNG NGHIỆP – VUI LÒNG LIÊN HỆ: