1. Phạm vi áp dụng:

  • Áp dụng cho việc kiểm tra đánh giá các thông số phòng sạch cho các phòng sạch được phân cấp phòng sạch theo ISO 14644 hoặc theo các tiêu chuẩn khác.
  • Áp dụng cho việc kiểm tra các phụ kiện kèm theo trong phòng sạch: pass box

2. Điều kiện môi trường tại khu vực thử nghiệm:

Nhiệt độ, độ ẩm nơi thử nghiệm đảm bảo điều kiện sau:
  • Nhiệt độ: (20 ± 10) ºC.
  • Độ ẩm: (60 ± 20) %RH.

3. Lựa chọn phương tiện dùng để thử nghiệm:

  • Máy đo vận tốc gió: Phạm vi: (0,25 ÷ 12,5) m/s. Độ chính xác: ± 5% khi đọc 0,50 m/s trở lên. Độ chính xác: ± 10% khi đọc 0,50 m/s trở xuống
  • Máy quang kế aerosol (quét rò rỉ): 
  • Máy đếm hạt
  • Máy đo chênh áp
  • Máy đo cường độ ánh sáng
  • Máy đo độ ồn
  • Khí ”0“: Khí Nitơ theo TCVN 3286:1979 hoặc không khí sạch chứa thành phần SO2, CO2, CO, H2S, NO, NO2, O2, HCl, NH3, HF, Cl2, LEL có nồng độ nhỏ hơn giới hạn mà phương tiện đo có thể phát hiện được, độ chính xác ≤ 2%.
  • Các loại khí chuẩn khác: Có độ không đảm bảo đo hoặc độ chính xác ≤ 2 %.
Phương tiện đo khác:
  • Đồng hồ bấm giây
  • Đồng hồ đo nhiệt độ / độ ẩm
  • Máy tạo aerosol
  • Thước đo
  • Giá đỡ, kẹp để cố định các máy …

4. Chuẩn bị trước khi thử nghiệm:

Trước khi tiến hành hiệu chuẩn phải thực hiện các công việc chuẩn bị sau:

  • Phải tuân thủ các yêu cầu, quy định về việc ra vào phòng sạch.
  • Các thiết bị chuẩn, phụ kiện mang theo phải được xử lý theo yêu cầu của phòng sạch trước khi sử dụng.
  • Hệ thống phòng sạch cần thiết vận hành theo đúng chế độ sử dụng.

5. Tiến hành thử nghiệm:

Kiểm tra bên ngoài:

  • Kiểm tra cảm quan về độ sạch của phòng, khả năng xâm nhập của không khí ngoài phòng sạch.
  • Kiểm tra sơ bộ về màng lọc không khí, hệ thống chênh áp.

Kiểm tra kỹ thuật:

  • Kiểm tra tình trạng hoạt động hệ thống đèn, máy lạnh, …

Kiểm tra đo lường:

  • Phép thử dòng không khí
  • Phép thử độ rò rỉ màng lọc HEPA/ ULPA:
  • Phép thử hướng dòng khí và sự nhìn thấy được:
  • Phép thử độ chênh áp:
  • Phép thử đếm hạt phân cấp phòng sạch:
  • Phép thử thu hồi:
  • Phép thử cường độ ánh sáng:
  • Phép thử nhiệt độ và độ ẩm:
  • Phép thử độ ồn:
  • …v.v…

6. Tài liệu tham khảo:

  • [2] 255-2009-HD-PST_CR – Procedural standards for certified testing of cleanrooms
  • 256-2011-TCVN-8664-1 – Phòng sạch và môi trường kiểm soát liên quan – Phần 1 Phân loại độ sạch không khí.
  • 257-2011-TCVN-8664-2 – Phòng sạch và môi trường kiểm soát liên quan – Phần 2 YC kỹ thuật để thử nghiệm và theo dõi nhằm chứng minh sự phù hợp liên tục với TCVN 8664-1.
  • 258-2011-TCVN-8664-3 – Phòng sạch và môi trường kiểm soát liên quan – Phần 3 Phương pháp thử

QUÝ KHÁCH CÓ NHU CẦU  HIỆU CHUẨN – BẢO TRÌ THIẾT BỊ THÍ NGHIỆM, MÔI TRƯỜNG, CÔNG NGHIỆP – VUI LÒNG LIÊN HỆ:

TRUNG TÂM  HIÊU CHUẨN – KHOA HỌC CÔNG NGHỆ vietCALIB®

Địa chỉ HCM Office: Số N36, Đường số 11, Phường Tân Thới Nhất,  Quận 12, Tp. Hồ Chí Minh
Hà Nội Office: Tầng 1, Toà nhà Intracom Building, 33 Đường Cầu Diễn, Quận Bắc Từ Liêm, Tp. Hà Nội
Đà Nẵng Office: Số 10, Đường Lỗ Giáng 05, Phường Hoà Xuân, Quận Cẩm Lệ, Tp. Đà Nẵng
Cần Thơ Office: Số 275, Đường Xuân Thuỷ, Phường An Bình, Quận Ninh Kiều, Tp. Cần Thơ
Hotline

1900 066870

0926 870 870 (Miền Nam) | 0812 870 870 (Miền Bắc) | 0948 870 870 (Toàn quốc)

Email info@vietcalib.vn
Website https://www.vietcalib.vnhttp://www.hieuchuanvietcalib.vn
zalo chat
Nhận Báo giá
0926 870 870
0961 661 788